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MRC943真空濺射鍍膜機

型號︰MRC943
品牌︰MRC
原產地︰美國
單價︰CNY ¥ 1250000 / 件
最少訂量︰1 件

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產品描述

INFOBRIGHT 943採用獨特的臥式結構設計及特殊結構的陰極,可實現高濺射,膜厚均勻性和高靶材有效使用率,從研發應用到大批量生產,可沉積介質膜、金屬膜等,主要用於集成電路製造、平板顯示器、光刻掩膜版、通訊網絡、化合物半導體器件、射頻功率器件和光電子器件等。


本系統可分為預真空室、濺射區域、RF離子清洗,預真空室具有基片承載盤昇降機,使得裝卸基片和濺射工藝同時進行,從而實現 “in-line”連續在線工作方式。12”x12”尺寸的基片承載盤,可放置不同尺寸及形狀的基片。94”基片/次,66”基片/次,112”基片/次。

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