AE CESAR 1330 射频电源

强大而多功能的 Cesar® 射频电源平台可提供非常稳定的射频功率输送性能，以及一个多样化的模式选择，每种模式都具有一套独特的功能（2、4、13.56、27.12和40.68 MHz；0.3至5 kW；拥有多种用户界面和输入选择），从而使您能够选择一套特别适合您应用的组件——而无需定制发生器所需的漫长交付期。

高质量的组件和较少的零件数量使可靠性和产品生命周期均实现 化，从而使您的投资和制程生产力得到 化的利用。一个全面而高度灵敏的操作菜单（可在该组件的多功能前面板上找到，并显示在一个大的液晶显示屏上）带来了无与伦比的便利性——提高了操作人员的效率，并使培训成本最小化。

典型应用：

高密度等离子体化学气相淀积（HDP CVD）

等离子体增强化学气相沉积（PECVD）

刻蚀-RIE/ICP

物理气相沉积

等离子清洗

优点

  更长的制程正常运行时间

  更高的操作简易性和灵活性

  无需定制组件提前期的定制化性能

  长期的使用简易性，节省成本

功能

  精简的流线型设计

  标准的平台包装

  高效率——低发热量

  200和400 VAC 的输入选择

  两个模拟用户端口选择

  RS-232、以太网及 Profibus 通讯

  多功能前面板

  便利、全面的操作菜单

  CEX（相位同步）操作模式