1、频率：13.560兆赫+/ - 0.005％
2、 输出功率： 600瓦到50欧姆负载
3、最小输出功率：6 W到50欧姆负载
4、反射功率极限 ： 200瓦
5、输出功率为匹配： 33％，取决于负载阻抗
6、负载阻抗：50欧姆
7、射频连接器 ： 50欧姆，N型，母型接头
8、射频功率调节模式：P下着，P交付，或直流电压selfbias
9、调节精度：（设定点）全额定功率为1.0或0.1％，到50欧姆负载
10、谐波 ： -50 dBc在全额定功率
