產品描述

強大而多功能的 Cesar® 射頻電源平台可提供非常穩定的射頻功率輸送性能，以及一個多樣化的模式選擇，每種模式都具有一套獨特的功能（2、4、13.56、27.12和40.68 MHz；0.3至5 kW；擁有多種用戶界面和輸入選擇），從而使您能夠選擇一套特別適合您應用的組件——而無需定製發生器所需的漫長交付期。

高質量的組件和較少的零件數量使可靠性和產品生命週期均實現 化，從而使您的投資和製程生產力得到 化的利用。一個全面而高度靈敏的操作菜單（可在該組件的多功能前面板上找到，並顯示在一個大的液晶顯示屏上）帶來了無與倫比的便利性——提高了操作人員的效率，並使培訓成本最小化。

典型應用：

高密度等離子體化學氣相澱積（HDP CVD）

等離子體增強化學氣相沉積（PECVD）

刻蝕-RIE/ICP

物理氣相沉積

等離子清洗

 

優點

  更長的製程正常運行時間

  更高的操作簡易性和靈活性

  無需定製組件提前期的定製化性能

  長期的使用簡易性，節省成本

功能

  精簡的流線型設計

  標準的平台包裝

  高效率——低發熱量

  200和400 VAC 的輸入選擇

  兩個模擬用戶端口選擇

  RS-232、以太網及 Profibus 通訊

  多功能前面板

  便利、全面的操作菜單

  CEX（相位同步）操作模式

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