產品描述

MDX 系列10 kW電源在真空環境中經久耐用，其小巧的尺寸使其成為實驗室系統的理想解決方案。它們最常用作直流磁控濺射電源；在該領域，二者精密的調節性能、 的滅弧功能和較低的存儲輸出能量使之成為業界 產品。它們還在射頻濺射和蝕刻系統中被用作精密調節的偏壓電源。

    AE MDX直流磁控濺射電源：

Equipment Details: DC Magnetron Sputtering Power Supply
Used as DC magnetron sputtering drives where regulation, superior arc quenching and low output energy are required
Standard Z
Power Output: 10 kW
Regulation: 0.25 percent in all modes, power, current, voltage
Remote panel controller
208V, 3 Ph, 50/60 Hz, 38A.

產品圖片